Lauda Semistat S 1200 термоэлектрический процесс-термостат

Термоэлектрическая система регулирования температуры на месте использования (Point-of-Use, Semistat) обеспечивает воспроизводимое регулирование температуры для задач плазменного травления. Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления. Термоэлектрические системы регулирования температуры LAUDA Semistat основаны на проверенных и известных принципах теплопередачи элементами Пельтье. Использование этих элементов позволяет быстро и точно регулировать температуру, что необходимо для реализации сложных процессов при производстве все более мелких компонентов.

Термоэлектрический процесс-термостат LAUDA Semistat S 1200 выпускается для полупроводниковой промышленности, имеет рабочий диапазон от −20 до 90 °C и холодопроизводительность до 1,2 кВт.

Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».

Особенности лабораторного процесс-термостата LAUDA Semistat S 1200:

• Максимальный объем заполнения: 1 литр;
• Диапазон рабочих температур: от −20°C до +90°C;
• Компрессор и система без хладагента с низким потреблением энергии;
• Охлаждающая мощность до 1,2 кВт;
• Динамический, стабильный контроль температуры в месте использования;
• Чрезвычайно низкий объем теплоносителя;
• Улучшенная доступность и минимальное использование чистых помещений;
• Локально заменяемые модули для упрощения поиска неисправностей.

У нас можно купить LAUDA Semistat S 1200 термоэлектрический процесс-термостат с диапазоном рабочих температур от −20°C до +90°C, максимальным объемом 1 литр с доставкой по России и низкой ценой на ремонт и обслуживание.